655系列熱燈絲CVD鑽石塗層系統
用於在生產與研發應用中沉積高品質的鑽石薄膜
655 系列系統能為許多廣泛的應用,提供精確而可重複的鑽石沉積效果,包括碳化物切削刀具、表面磨損、電極、矽晶圓與微磨料等應用。
sp3 655 系列 CVD 鑽石塗層系統
型號
655 F — 適用於需在某一平面上採用塗層的平坦基板,包括切削刀具墊片、切槽刀具等等。
655 W — 適用於塗佈晶圓;請指明 100mm、150mm、200mm 或 300mm。
655 T — 適用於需在多個平面上採用厚度一致之塗層的三維應用和基板。
655 RT — 適用於被覆鑽頭、端銑刀、倒角刀、路達,以及其他旋轉式硬質合金工具。
655 D — 適用於需要導電性的摻雜鑽石應用。
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